半導體生產(chǎn)設備上用到很多的稱重傳感器及壓力傳感器，這些年，與國內(nèi)不少的半導體設備廠家進行合作過，具體哪些設備用到什么傳感器，分別闡述以下：
1、在半導體露光裝置上的使用：
該設備上通常是用壓力傳感器，對性能要求很高，長期穩(wěn)定性要好，精度要高，主要是通常監(jiān)測氣壓，連接晶圓浮起進行振動對策，此時的氣壓用精密壓力傳感器控制，且產(chǎn)生的廢氣液體的管理也是由稱重傳感器來計量。
選配的氣壓傳感器，采用擴散硅敏感元件，進口材料。
2、在晶圓洗凈裝置的應用：
該設備上安裝的是梁式和膜盒式稱重測力傳感器，對性能要求，精度高，穩(wěn)定性好，當晶圓在清洗中，清洗刷在工作的時候，會施加適當力，對其力的控制，就是由傳感器來抓取反饋完成的。
3、在半導體樹脂成型設備的應用：
半導體元器件在封裝時，環(huán)氧樹脂經(jīng)過塑封機把晶圓及引線框架包裹，成為單個完整的電子元器件，在設備上監(jiān)測樹脂的供給量，需測量模具的鎖模力射出力，常選拉桿應變計的鎖模力傳感器套件。
還有半導體設備種類很多，實際應用功能及作用都不同，所以其它的應用，歡迎依實際需求咨詢。
